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在基于石英晶體的測量系統(tǒng)中,監(jiān)測晶體的選擇直接決定了測量結果的準確性與穩(wěn)定性。尤其在嚴苛的工藝環(huán)境下,為您的應用選擇適合的 INFICON 晶體至關重要。
以太陽能電池制造為例,大面積鍍膜常采用濺射工藝,并通過 QCM (石英晶體微量天平)實時監(jiān)測膜厚以確保均勻性。但挑戰(zhàn)在于:濺射過程產(chǎn)生的大量熱量會直接影響測量精度。
此時,銀電極晶體展現(xiàn)出關鍵優(yōu)勢:其zhuoyue的導熱性能(得益于銀材料),能更快速地將靶材傳導來的熱量傳遞至傳感器水冷基座,從而有效控制晶體溫度。
帶來的直接效益是?
測量更可靠
太陽能電池質量更高
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電極材料深度解析:對比金、銀、合金電極的核心優(yōu)勢與適用場景。
電極圖案選擇關鍵:了解不同電極圖案(如雙錨點、單錨點、雙面滿鍍)如何影響晶體穩(wěn)定性、壽命和抗干擾能力。
應用場景精準推薦:針對光學鍍膜(標準/精密/超薄)、金屬鍍膜(高熱負載/低應力/高應力)、OLED、原子層沉積 (ALD) 等不同工藝,提供zuiyou晶體選型建議。
高溫專用晶體方案:特別介紹適用于高溫ALD工藝的專用晶體及其穩(wěn)定工作溫度范圍。