近日，上海日揚WEH®涂層工作室正式投產，從研發、生產、測試、涂裝到售后全流程將在上海進行，歡迎各位工程師、學者前來參觀。

【涂層實驗室】

“WEH®涂裝"是一種先進的納米涂層處理工藝，現已成功應用于薄膜沉積和干刻蝕制程，是一種在真空環境下的高科技表面處理技術。該技術可以在材料表面上形成一層均勻、致密、具有特殊功能的涂層，減少工藝殘留物的粘附，提高材料的抗腐蝕性和使用壽命。

WEH®涂層廣泛用于半導體、太陽能電池、電子元器件、顯示器、等產品的制造過程中，尤其是真空系統的設備以及零部件中，應用范圍非常廣泛。

【WEH®涂層特點】

WEH®涂層經市場驗證可以有效保護部分制程特別是例如AI-Pad、ALD和MOCVD制程中所需的真空設備例如真空泵、腔體、閥門與管道，這些設備與零件有著非常高的精度和技術要求，一般來說價值不菲，而后端工藝殘留物的堆積導致設備要停機維護，這意味著它們的維護周期對產線稼動率和生產效益的影響非常大。WEH®涂層涂裝可顯著緩解零部件以及設備的粉塵堵塞難題。

【應用案例】

日揚科技提供真空系統領域的整合服務，包括真空閥、腔體、真空零配件以及后端尾氣處理設備Scrubber和特殊真空納米涂層材料WEH®，致力于幫助客戶解決所有真空系統難題，實現各階段的降本增效，做客戶真正有價值的伙伴。