三，熱電離規(guī)

1. 熱電離規(guī)原理 Richardson 效應(yīng): 高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子

1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出

2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系

2. 兩種類型熱電離規(guī)

3. 熱電離型復(fù)合規(guī) l HPG400 l BPG400/-SP/-SD/SR l BPG402 l BCG450 B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號復(fù)合在一起 l

4. 優(yōu)點及應(yīng)用 l BPG n 測量范圍寬，一個規(guī)管覆蓋13個量程5x10-10–1000 mbar n 精度高，*的重復(fù)性5% n 燈絲材料鍍釔的銥絲有*的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會因突然暴露大氣而燒毀。 n 方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié) n 注意事項： u 對氣體有選擇性 u 抗污染能力弱 n 普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測量 n 在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛 l BPG402 n 雙燈絲，大大延長使用壽命 n 電離規(guī)的工作可以自定義控制 n 探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性 l HPG400 n 電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合 n 皮拉尼自鎖保護電離規(guī) n 電離規(guī)的工作啟動點可以一定范圍內(nèi)自定義 n 簡易的校準(zhǔn)功能 n 相對便宜的價格 l BCG450 n 可調(diào)的電離規(guī)工作起點 n 好的重復(fù)性 n 精確的大氣端測量

四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）

1. 冷電離規(guī)原理通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離 2. 潘寧規(guī)特點與應(yīng)用 l 測量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar l 全金屬密封 l 無燈絲 l 易清洗 l 應(yīng)用于普通的高真空測量

3. 冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點與應(yīng)用 l 冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合 l 測量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar l 易于保養(yǎng)清洗 l 無高真空燈絲， l 應(yīng)用于普通高真空測量.